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一、沿面放电式电极
沿面放电式臭氧发生器：即一般用玻璃管做介电资料，分管内通气和管外通气，一种是内电极贴在玻璃管内壁上的铝网，外电极是石墨等导电涂层管内通气体。另一种是玻璃管内充氮气和少数的氩气或者氪气，充气压力为数千pa，内电极是一根镍丝，外电极是套在玻璃管外壁上的铝网。管外经过气体。
以上两种电极只要沿管壁流过的少数气体参加放电，产值低，臭氧发生器产值随使用时间的积累会逐步减低。臭氧发生器可靠性差，寿命短。一般寿命为3000-6000小时左右，但成本低，生产简略，有几个人就可以拼装生产，一般没有完善的查验设备。
二、空隙放电式电极
一种是用陶瓷管做介电资料，外壁镀金属镀层为外电极，金属管为内电极，管内通水冷却。氧气从内外电极间的缝隙中经过。另一种是板式陶瓷介质空隙放电电极。风冷或者水冷，氧气从两电极间的缝隙中经过。
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